Loading...

社会インフラSocial Infrastructure

オゾンガス発生装置[クリーンオゾナイザ]

窒素添加レス方式で業界トップクラスの超高濃度のオゾンガスを発生。

特徴

  1. 窒素ガス無添加方式で超高濃度のオゾン発生。
  2. 窒素ガス無添加方式で金属コンタミネーションの発生を抑制。
  3. 独自の極短ギャップ放電技術を継承。
  4. CEマーキング、SEMI-S2、欧州RoHS指令に対応。
  5. 装置組み込みが容易なオールインワン型ユニットも対応。

適応分野

  • 半導体・液晶・太陽電池製造プロセス
  • 酸化処理・表面改質処理
  • 洗浄プロセス
  • 水処理 他

MENU

産業機器システム
半導体・デバイス
社会インフラ
情報通信
オリジナル商品